阿斯麦解释荷兰最新出口管制:并非所有浸润式 DUV 设备都受限
阿斯麦解释荷兰最新出口管制:并非所有浸润式 DUV 设备都受限
财联社 6 月 30 日讯(编辑 夏军雄)当地时间周五(6 月 30 日),荷兰政府宣布了限制某些先进半导体设备出口的新规定,这些规定将于 9 月 1 日生效。
具体而言,荷兰政府将要求先进芯片制造设备的公司在出口之前须获得许可证。
荷兰外贸与发展合作大臣莉谢 · 施赖纳马赫尔表示,只有非常有限的公司和产品型号会受到影响。
尽管荷兰政府并未直接点出会受到限制的公司,但外界都明白这是在限制光刻机巨头阿斯麦(ASML)。
荷兰政府的消息传出之后,阿斯麦在其官网发表声明称,该公司未来出口其先进的浸润式 DUV 光刻系统(即 TWINSCAN NXT:2000i 及后续浸润式系统)时,将需要向荷兰政府申请出口许可证。而荷兰政府将决定是否批准或拒绝所需的出口许可证,并就任何适用的条件向阿斯麦提供进一步的细节。
阿斯麦强调,该公司的 EUV 系统的销售此前已经受到限制。
阿斯麦同时表示,预计上述措施不会对其 2023 年财务前景或 2022 年 11 月投资者日期间传达的长期情景产生重大影响。
有一款 DUV 光刻机并不受限
近年来,美国在对华政策上实行胁迫外交,多次施压其盟国限制如光刻机等高科技产品等出口。
自 2018 年以来,在美国的压力之下,荷兰政府一直禁止阿斯麦向中国出口其最先进的极紫外线光刻机(EUV),但仍可以销售上一代的深紫外线光刻机(DUV)。然而,美国近阶段又希望进一步打压中国芯片行业,将 DUV 也纳入禁售范围。
荷兰政府早在 3 月就表示,考虑把光刻机的出口管制范围扩大到 DUV。
根据阿斯麦官网提供的信息,该公司目前在售的主流浸没式 DUV 光刻机产品共有三款,分别是:TWINSCAN NXT:1980Di、TWINSCAN NXT:2000i、TWINSCAN NXT:2050i。
(来源:官网)
阿斯麦 3 月曾表示,预计 2000i 和 2050i 这两款产品会受到荷兰政府的出口限制。再对比阿斯麦今天的回应来看,TWINSCAN NXT:1980Di 这款 DUV 光刻机并不在限制范围内。
根据官网介绍,TWINSCAN NXT:1980Di 的分辨率可以达到≤ 38nm,每小时可以至少生产 275 片晶圆。
在实际生产和使用中,通过多重曝光,TWINSCAN NXT:1980Di 依然可以支持到 7nm 左右的工艺生产,当然相比于更先进的光刻机型号,其在生产先进工艺时的步骤将更为复杂,成本将更高,良率可能也会有损失。
全球晶圆厂在使用 1980Di 光刻机型号时,大多是生产 14nm 及以上工艺的芯片,很少去生产 14nm 以下的工艺。但可以肯定的是,用这一台 TWINSCAN NXT:1980Di 光刻机,生产 28nm、14nm 仍能完全满足需要。这预示着目前就已大量采用 NXT:1980Di 进行成熟制程制造的晶圆厂将不会受到明显影响,但在先进工艺方面,可能难以完全满足需求。
中国外交部回应
在 6 月 30 日举行的中国外交部例行记者会上,外交部发言人毛宁在回应记者相关提问时表示,中方坚决反对美方泛化国家安全概念,滥用出口管制,以各种借口拉拢胁迫其他国家对华搞科技封锁,以行政手段干预企业之间的正常经贸往来,严重破坏市场规则和国际经贸秩序,冲击全球产供链的稳定,不符合任何一方的利益。
她指出,中方将密切关注有关动向,坚决维护自身的合法权益。
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